金融界2024年11月28日音信，国度学问产权局信息露馅，素珀电子科技（上海）有限公司恳求一项名为“供气系统、大气机械手臂、晶圆传送莳植及要领”的专利，公开号 CN 119028880 A开云(中国)开云kaiyun·官方网站，恳求日历为 2024年10月。
专利选录露馅，本发明提供了一种供气系统、大气机械手臂、晶圆传送莳植及要领，波及半导体分娩莳植时间限制，为惩处大气机械手臂在伸出或者缩回历程中里面管路容易发生缠绕、弯折的时间问题而发明，大气机械手臂包括左机械手臂和右机械手臂，供气系统包括第一供气气路和第二供气气路，分手为两个结尾实行器里面的耗气元件进行供气，第一供气气路和第二供气气路均具有伸缩余量，以相宜左机械手臂和右机械手臂的伸出或者缩回气象，本发明第一供气气路和第二供气气路预留伸缩余量，在机械手臂的伸出或者缩回气象下大概幸免第一供气气路和第二供气气路在手臂伸缩的历程中发生缠绕、弯折，保证第一供气气路和第二供气气路为结尾实行器顺畅供气。
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结尾实行器机械手臂晶圆气气路发布于：北京市